真空脫羥爐用于石英材質(zhì)工件的脫羥處理。在高真空環(huán)境下，通過長時間的恒溫焙燒以及連續(xù)抽空排氣將工件內(nèi)的羥基雜質(zhì)逸出，從而獲得高質(zhì)量長使用壽命的石英工件。

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